Chemieversorgung und Prozesssysteme für Nassprozesse
Zuverlässige Versorgung, Dosierung und Entsorgung von Prozessmedien.
Bedarfsgerechte Medienversorgung
Gebindegrößen und Versorgungskonzept passend zum Verbrauch.
Kontrollierte Medienführung
Zufuhr und Abführung der Prozessmedien gezielt ausgelegt.
Integrierbare Systemtechnik
Pumpen, Ventile und Steuerung auf die Anlage abgestimmt.
Dosieren und Mischen
Prozesschemikalien bedarfsgerecht bereitstellen und aufbereiten.
Überwachung und Schutz
Füllstands- und Leckageüberwachung je nach Ausführung.
Chemieversorgung und Medienmanagement
Chemieversorgungs- und Prozesssysteme verbinden Lagerung, Verteilung und Überwachung chemischer Medien. Je nach Anwendung sind Dosier-, Misch-, Umfüll- und Entsorgungsfunktionen integrierbar.
Zur Chemikalienversorgung qCXS




Für Wafer, Substrate und Komponenten
Eine Anlage – viele Möglichkeiten.
Medienversorgung abgestimmt auf die Chemikalien und Substrate der angeschlossenen Prozesse.
Materialien & Substrate entdeckenTypische Anwendungen
Von Forschung und Entwicklung bis zur industriellen Fertigung.
Chemikalienversorgung
Versorgung mit definierten Prozesschemikalien.
Chemikalienentsorgung
Erfassung und Abführung verbrauchter Medien.
Slurry-Mischen
Mischen und Fördern von Prozess-Slurries.
Prozessdosierung
Bedarfsgerechte Zufuhr und Dosierung.
Medienverteilung
Verteilung an mehrere Prozessverbraucher.
Häufige Fragen
Welche Angaben werden für die Auslegung benötigt?
Medien, Gebindegrößen, Verbrauch, Entnahmestellen und Anforderungen an die Entsorgung bestimmen die Auslegung.
Kann die Chemieversorgung bestehende Anlagen anbinden?
Die Leitungswege, Anschlüsse und Übergabepunkte werden anhand der vorhandenen Anlagen und der Gebäudetechnik geplant.
Sprechen wir über Ihre Chemieversorgung
Wir stimmen Versorgung, Verteilung und Entsorgung auf Ihre Medien und Anlagen ab.







