qSPRINT
qSPRINT ist eine kompakte automatische Nassprozessanlage für den vielseitigen Einsatz in unterschiedlichsten Industriebereichen – von der allgemeinen Fertigung bis hin zur Halbleiterindustrie. Sie wurde neu entwickelt, um auf minimalem Raum (kleinster Footprint) eine maximale Bandbreite nasschemischer Prozesse wie Reinigen, Ätzen, Spülen und Trocknen abzudecken. Ihre robuste Ausführung und präzise Prozesssteuerung gewährleisten höchste Stabilität und Reproduzierbarkeit auch unter Reinraumbedingungen. Durch ihre universelle Einsetzbarkeit ist die qSPRINT weltweit in Entwicklungs- und Produktionsumgebungen gleichermaßen gefragt.
Die Anlagen-Software ermöglicht eine flexible Rezeptverwaltung, die individuelle Prozessabfolgen und Parameteranpassungen erlaubt. Dadurch lässt sich die Anlage optimal an unterschiedliche Anwendungen anpassen und bietet maximale Prozessvielfalt bei gleichzeitig effizientem Betrieb und hoher Produktivität.
Innovative Software
- Individuelle Rezeptverwaltung
- Multiproduktmanagement
- Konfigurierbare Trendauswertung
- Benutzerverwaltung
- Alarmmanagement
- SECS/GEM und OPC UA ready
Maximal konfigurierbar
- Ein oder zwei Bäderreihen
- Carrierpuffer in der Lade-/Entladestation
- Individuelle Bäder
- Ultraschall/Megaschall
- Wafer-Agitation
- Wafer-Rotation
Einfache FAB-Integration
- Kleiner Anlagenfootprint
- Integrierte Schaltschränke
- Integriertes Kühl- und Heizsystem
- Luftstrom aktiv gesteuert
- Schnelle Installation
Kaufmännische Vorteile
- Kurze Lieferzeit
- Starkes Preis-Leistungs-Verhältnis
- Hohe Verfügbarkeit
- Transparente Ersatzteilpreise