Manuelle Nassbänke für Reinigung und Ätzprozesse
Flexible Nassprozesslösungen für Forschung, Pilotfertigung und Produktion.
Manuelle Nassbank im Einsatz
Die Wiedergabe konnte nicht gestartet werden. Bitte verwenden Sie die Wiedergabetaste oder versuchen Sie es erneut.
Bedarfsgerechte Investition
Prozessbecken und Ausstattung passend zu Ihrem Bedarf.
Reinigen und Spülen
Medienführung und Spülkonzept auf den Prozess abgestimmt.
Individuelle Beckenkonfiguration
Becken, Heizung und Steuerung flexibel kombinierbar.
Vielseitige Nassprozesse
Reinigen, Ätzen und Entwickeln je nach Anlagenkonfiguration.
Sicherheit im Bedienbereich
Absaugung und Überwachung passend zur chemischen Anwendung.
Manuelle Nassbänke – flexibel konfigurierbar
Manuelle Nassbänke ermöglichen reproduzierbare Nassprozesse bei hoher Flexibilität. Je nach Anwendung lassen sich Prozessbecken, Heizung, Ultraschall, Spülung, Absaugung und Steuerung kombinieren.
Zur manuellen Nassbank qLAB


Für Wafer, Substrate und Komponenten
Eine Anlage – viele Möglichkeiten.
Geeignet für unterschiedliche Substrate – abhängig von Prozess, Geometrie und eingesetzter Chemie.
Materialien & Substrate entdeckenTypische Anwendungen
Von Forschung und Entwicklung bis zur industriellen Fertigung.
Waferreinigung
Reinigung von Silizium- und Verbindungshalbleitern.
Chemisches Ätzen
Selektive Oberflächenbehandlung mit Chemikalien.
Entwickeln
Chemische Entwicklungsprozesse für Substrate.
Substratvorbereitung
Vorbereitung vor weiteren Prozessschritten.
Forschung und Entwicklung
Versuche und kleine Produktionslose.
Häufige Fragen
Wie wird eine manuelle Nassbank ausgelegt?
Prozessfolge, Substratformat und Medien bestimmen Anordnung, Werkstoff und Ausstattung der Prozessbecken.
Welche Bedienkonzepte sind möglich?
Je nach Anwendung reicht die Bedienung von einzelnen Tastern bis zu einer Bedienoberfläche mit Rezeptverwaltung.
Sprechen wir über Ihre manuelle Nassbank
Wir stimmen Prozessbecken, Bedienung und Medienanschlüsse auf Ihren Arbeitsablauf ab.







