Automatische Texturierungsanlage aus dem frühen Taiwan-Projekt von exateq, 2015.
Ein besonderer Start
2015 war das Gründungsjahr von exateq. Noch im selben Jahr wurden zwei vollautomatische Nassbänke zur Texturierung von Siliziumwafern an einen Kunden in Taiwan geliefert. Die Anlagen waren für den industriellen Einsatz in der Photovoltaikproduktion vorgesehen.
Für das junge Unternehmen bedeutete das Projekt einen frühen Schritt auf den internationalen Markt. Die Anforderungen an Prozessstabilität, reproduzierbare Ergebnisse und zuverlässige Automatisierung waren hoch. Mit der Auslieferung allein war es deshalb nicht getan.
Anlagentransport im Gründungsjahr 2015 – ein früher Schritt auf den internationalen Markt.
Alkalische Texturierung im technologischen Wandel
Die nasschemische Texturierung ist ein wichtiger Prozessschritt bei der Herstellung kristalliner Siliziumsolarzellen. Bei der alkalischen Texturierung von geeignet orientierten monokristallinen Siliziumwafern entstehen mikroskopische Pyramidenstrukturen, welche die Lichtreflexion reduzieren.
Die beiden Anlagen arbeiteten mit Kaliumhydroxid (KOH). Spezielle Texturierungsadditive waren 2015 bereits verfügbar, doch das Vertrauen in diese Prozesschemie war noch nicht überall gefestigt. Deshalb wurden die Anlagen zusätzlich mit Versorgungsleitungen für Isopropylalkohol (IPA) ausgestattet. So blieb die Möglichkeit, eine etablierte Prozessführung einzusetzen.
Dieses Detail veranschaulicht den damaligen technologischen Übergang: Neben dem eigentlichen Texturierungsprozess musste die Anlagentechnik unterschiedliche chemische Prozessvarianten berücksichtigen.
Mehrere Wochen in Taiwan – Inbetriebnahme vor Ort
Nach der Auslieferung reisten exateq-Mitarbeiter nach Taiwan, um beide Anlagen beim Kunden in Betrieb zu nehmen. Das Team war mehrere Wochen vor Ort und begleitete den Anlauf der automatisierten Texturierungsprozesse unter realen Produktionsbedingungen.
Gerade in dieser Phase zeigte sich das Zusammenspiel aus mechanischer Konstruktion, Steuerungstechnik und nasschemischem Prozessverständnis. Für das junge Unternehmen war die Inbetriebnahme auf einem anderen Kontinent ein besonderer Schritt.
Zwei Anlagen im direkten Wettbewerb
Parallel zu den beiden exateq-Anlagen wurde beim Kunden eine weitere Anlage eines etablierten Herstellers errichtet. Dieser verfolgte ein neues Anlagenkonzept. Damit konnten unterschiedliche technische Ansätze unter vergleichbaren Rahmenbedingungen beobachtet werden.
Während die Wettbewerbsanlage noch nicht die gewünschten Ergebnisse lieferte, erzeugten die beiden exateq-Anlagen bereits gut texturierte Wafer – nach Erinnerung des damaligen Projektteams deutlich früher als die parallel aufgebaute Anlage.
Für das Team war dies eine Bestätigung der gewählten technischen Lösung: Entscheidend ist, wie zuverlässig sich ein Prozess in der Produktionspraxis umsetzen lässt.
Von den ersten Anlagen zur späteren qRUN-Plattform
Die beiden Anlagen aus dem Jahr 2015 waren frühe Schritte in der Entwicklung der automatischen Nassbänke von exateq. Die Plattformbezeichnung qRUN wurde erst später eingeführt.
Seither wurde das Portfolio um weitere Anlagenkonzepte und Anwendungen erweitert – von der Photovoltaik über die Halbleiterindustrie bis zur Bearbeitung großformatiger Substrate. Die Erfahrungen aus frühen Projekten bilden einen Teil dieser Entwicklung.
Ein Meilenstein, der bleibt
Die beiden Nassbänke nach Taiwan waren mehr als ein Exportauftrag im Gründungsjahr. Sie stehen für internationale Projektarbeit, mehrwöchigen Einsatz beim Kunden und die Fähigkeit, komplexe nasschemische Prozesse in die industrielle Praxis zu überführen.
Bis heute verfolgt exateq das Ziel, technisch durchdachte Anlagen zu entwickeln, die im Produktionsalltag zuverlässig funktionieren.
Florian Süß
Projektleitung & Vertrieb | exateq GmbH
Florian Süß verfügt über langjährige Erfahrung in der Projektleitung und Konstruktion nasschemischer Anlagen. Seit der Gründung von exateq im Jahr 2015 bringt er seine Expertise in die Entwicklung praxisgerechter und kundenspezifischer Lösungen für die Hightech-Industrie ein.
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