Photovoltaik

In der Photovoltaikindustrie kommen Nassbänke in zahlreichen Prozessschritten zum Einsatz – insbesondere bei der Reinigung, Ätzung und Oberflächenbehandlung von Solarwafern. Obwohl diese Systeme viele Gemeinsamkeiten aufweisen, unterscheiden sie sich je nach Anwendung häufig deutlich in Aufbau, Größe und Prozessauslegung. Ein Beispiel sind Wafer für Solarzellen, die in solchen Anlagen geätzt und gereinigt werden. Diese Wafer sind heute typischerweise nur etwa 150 µm dick oder dünner, mit dem Ziel, künftig unter 100 µm zu erreichen. Sie sind quadratisch und meist nicht größer als 210 × 210 mm². Aufgrund ihrer geringen Dicke sind sie äußerst empfindlich und werden in der Industrie in sehr großen Stückzahlen verarbeitet – mit Durchsätzen von bis zu 15.000 Wafern pro Stunde. Die größte Herausforderung besteht darin, flexible und zugleich fragile Produkte in solchen Mengen sicher zu handhaben. exateq hat hierfür sowohl die Handhabungssysteme als auch die Prozessparameter gezielt optimiert. Detaillierte Informationen dazu finden Sie in den jeweiligen Produktbeschreibungen. Am anderen Ende des Anwendungsspektrums, in Forschung und Laborumgebungen, stellen sich völlig andere Anforderungen: Hier stehen intermittierender Betrieb, kleine Losgrößen und eine hohe Prozessflexibilität auf engem Raum im Vordergrund.